无油干式机械真空泵的工作原理是什么？
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-09 1:20:39 * 浏览: 2
无油干式机械真空泵（也称为干式机械泵）是指该泵可以从大气压开始泵送，并且可以将泵送的气体直接排放到大气中。泵腔中没有油或其他工作介质，并且泵的极限压力等于或接近于油封真空泵的极限压力。当前，真空工业中使用的大多数机械真空泵都使用油，水或其他聚合物等流体作为泵的工作介质，并在泵中起到各种作用，例如冷却，密封和润滑。随着科学技术的发展和真空应用领域的扩大，原始的机械真空泵及其所组成的泵送系统存在两个亟待解决的问题：一是泵回流的工作介质污染了泵。抽的容器。在许多情况下，流量会影响产品的质量和数量，并增加设备的维护成本。其次，由于某些过程中的反应性物质，真空泵中的介质严重恶化，从而使泵无法正常工作。对于普通的无油真空系统，尽管可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件来防止回流，但是该问题无法完全解决，并且系统看起来很复杂。使用适当类型的干式机械真空泵可以达到所需的效果。干式机械真空泵的应用广泛，主要表现在以下几个方面：1）在低压化学气相沉积中的多晶硅制备过程中，以及2）半导体蚀刻过程中。在这些生产过程中，经常使用或产生腐蚀性气体和磨料颗粒。 3）除半导体工艺外，某些产生颗粒的工艺不希望将颗粒混入泵油中，也不希望将颗粒从泵中排出。干式机械真空泵可满足要求，4）在化学工业，制药工业，食品工业，蒸馏，干燥，消泡，包装等方面，可防止有机溶剂污染，适用于干式真空泵，5）一般用途无油前级泵，用于清洁真空系统，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵发展迅速，许多国外大型真空公司都开发了新型的干式机械真空泵。国内许多单位也正在开发干式机械真空泵，例如东北大学，沉阳真空技术研究所和上海真空泵厂。目前，干式机械真空泵主要分为接触式和非接触式。接触式干式泵包括叶片式，凸轮式，往复活塞式，隔膜式等。这些泵转速低，适用于小容量和高压缩比（单级压缩比）。非接触式干泵有罗茨型，爪型，螺杆型，涡旋型等，转速高，适用于大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特征。使用时，可以根据不同目的选择。
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